Влияние термической обработки на удельное сопротивление кремния
Известно, что термическая обработка даже при температурах порядка 300° в ряде случаев резко изменяет удельное сопротивление германия и кpeмния и что при этом часто может изменяться тип проводимости, приводя к явлению «термической конверсии».
Закалочные центры рекомбинации в кремнии
Время жизни неосновных носителей в кремнии как n-, так и р-типа значительно уменьшается после нагрева до температуры выше 400° и быстрого охлаждения. Эти изменения обратимы в интервале температур 400—600°, так как после коротких циклов отжига вблизи температур...
Влияние деформации кристалла на изменение удельного сопротивления кремния при термической обработке
Если кристаллы кремния, выращенные по методу Тиля—Литтля, нагревать в течение 1—50 час. при температуре порядка 450°, то обычно происходят большие изменения удельного электросопротивления. При указанной выше термической обработке в большей части...
Изменение удельного сопротивления монокристаллов кремния вследствие термической обработки
Известно, что термическая обработка вызывает изменение удельного электросопротивления германия. Недавно было показано, что эти изменения по крайней мере частично связаны с присутствием меди. Мы наблюдали аналогичные изменения удельного электросопротивления...
Осаждение примесей на дислокациях в термически обработанном кремнии
Мы провели серию термических обработок кремния и получили данные, которые указывают на осаждение примесей на дислокациях при нагреве кремния ниже 900°. Мысль о том, что примеси могут скапливаться на дислокациях ниже определенной критической температуры...