В настоящее время проявляется значительный интерес к диффузии электрически активных примесей в кремнии и германии как к методу, который может быть использован при изготовлении полупроводниковых приборов. Диффузия алюминия в кремнии представляет особый интерес...

Растворимость и коэффициенты диффузии золота, железа и меди в кремнии были определены с помощью радиоактивных изотопов Au198, Fe59 и Cu61 соответственно. Растворимость золота и меди была определена по методу, описанному ранее.

Была исследована диффузия элементов III (В, Al, Ga, In и Tl) и V (Р, As, Sb и Bi) групп в кремнии в температурном интервале 1050—1350°. Для В и P был использован метод, основанный на изменении удельной электропроводности в области проникновения диффундирующего вещества.

Как было показано ранее, литий диффундирует с большой скоростью в кристаллическом германии и кремнии, причем в этих полупроводниках он ведет себя как донорный элемент. Коэффициент диффузии лития в этих элементах был определен методом измерения положения р—n-перехода.

Диффузии ряда примесей в кремний были исследованы следующими методами; а) методом р—n-перехода для сурьмы и бора; б) методом меченых атомов для сурьмы и золота; в) емкостным методом для золота. Емкостный метод основан на высокой энергии ионизации золота в кремнии...