Взаимодействие карбид тантала-углерод

Электромонтаж Ремонт и отделка Укладка напольных покрытий, теплые полы Тепловодоснабжение

Взаимодействие карбид тантала-углерод

05.01.2020

Монокарбид тантала образует с углеродом эвтектику, состав которой находится в пределах TaC1,56—TaC1,67. Значение эвтектической температуры 3400±50°С.

Взаимодействия монокарбида тантала в вакууме с графитом при температурах до 2200°С и времени выдержки до 10 ч не наблюдается.

Кинетика образования карбида тантала при термической диссоциации хлорида (TaCl5) на графитовой подложке изучена в работе. Определение зависимости толщины осадка от длительности осаждения проводили в интервале температур 2060—2540°С.

Скорость осаждения карбида тантала с увеличением длительности процесса заметно снижается (рис. 36). Экспериментальные кривые хорошо спрямляются в координатах b2 — т (где b — толщина осадка, т — длительность осаждения), что указывает на лимитирующее влияние диффузии углерода из подложки на кинетику роста осадка. Рентгенографическим анализом показано, что для карбида тантала параметр решетки на поверхности контакта с графитом равен 4,457А, а на поверхности осаждения — 4,440 А.

Таким образом, в контакте с графитом находится карбид практически стехиометрического состава, а на поверхности — фаза состава ТаС0,89. В проведенном исследовании не обнаружено какой-либо зависимости содержания углерода на поверхности растущего карбидного слоя от температуры осаждения.
Взаимодействие карбид тантала-углерод

Имя:*
E-Mail:
Комментарий: