Измерение упругих постоянных монокристаллов кремния и их термических коэффициентов

Интерес к свойствам монокристаллов кремния, возникший в связи с их применением как полупроводников, побудил нас провести измерения упругих постоянных двух монокристаллов. На кристаллах были проведены измерения скорости распространения как поперечных, так и продольных волн методом, описанным недавно в работе Мак-Скимина. Были использованы частоты в интервале 8—12 Мгц.

В работе были определены три независимые упругие константы; при расчетах плотность кремния, измеренная пикнометром, была принята равной 2,331. Полученные данные и расчетные формулы приведены в таблице.

Как указывалось ранее, измерения были проведены на двух кристаллах, причем для вычисления упругих постоянных были использованы данные, полученные для кристалла больших размеров. Контрольные измерения были проведены на кристалле меньших размеров. Несмотря на малую точность метода «перекрывающихся импульсов», примененного для этих двух измерений полученные скорости совпадали в пределах 0,15%.

Как показало травление и рентгенографическое исследование оба кристалла имели весьма совершенную структуру.