Электромонтаж Ремонт и отделка Укладка напольных покрытий, теплые полы Тепловодоснабжение

Простой метод травления для выявления дислокаций в кремнии

05.12.2018


Был разработан метод выявления дислокаций в кристаллах кремния путем химического травления.

Травитель СР-4, который применяется для германия, не дает дислокационных ямок травления на кремнии; поэтому которой показан вид ямок травления на грани кристалла (111). Ямки были также получены на плоскостях под углом в пределах 10° к граням (110) и (100).

Исследуемая грань кристалла шлифовалась на стеклянной плите с применением порошка карборунда зернистостью 302, а затем травилась в ванне, содержащей HF (40%-ная) 30—40%, HNO3 (конц.) 30—35%, CH3COOH (ледяная) 30—35%, до получения полированной поверхности. Эта операция занимала 1—2 мин. Затем травитель разбавлялся 40—60% воды, причем образец в это время оставался в ванне. Через 0,5—1,5 мин. кристалл вынимался, и на нем при исследовании были видны ямки травления. Размеры ямок травления до некоторой степени зависят от времени травления и от разбавления; если разбавление слишком велико, то поверхность кристалла тускнеет, при этом возникшие ранее ямки травления исчезают.

Плотность ямок травления в кристаллах, найденная методом подсчета, изменялась в пределах от 10в4 до 10в5 см-2. Эти плотности сравнимы со значениями, которые дают Куртц, Кулин и Авербах для краевых дислокаций в германии и кремнии.

Имя:*
E-Mail:
Комментарий: